NTKセラテック、宮城・富谷に半導体装置向けセラミック新工場が竣工——静電チャック生産、2026年度中稼働へ

半導体材料・部品で日本企業が強い分野の全体像は「チップの土台も塗る薬も、ほとんど日本製だった」で扱いましたが、今回はその中でも目立ちにくい「装置の中の部品」を作る企業の話です。

静電チャックとは何か——シリコンウエハーを「固定する」だけの部品がなぜ心臓部なのか

静電チャックとは、静電気の力でシリコンウエハーを装置内にぴたりと固定するセラミックス製の部品です。エッチングなどの工程では、ウエハーがわずかでもずれたり反ったりすると加工精度が落ちます。目立たない部品ですが、装置の最終的な性能を左右する縁の下の存在です。

なぜセラミックスメーカーが半導体部品に参入するのか

NTKセラテックは、スパークプラグで知られる日本特殊陶業（Niterraグループ）の一員です。同社が長年培ってきたセラミックス技術を、耐熱性・絶縁性が求められる半導体製造装置向けの部品に応用しています。半導体工場の周辺には、こうした異業種からの技術転用で参入した企業が少なくありません。半導体部品で名を知られるTOTOの例は「トイレで世界一の会社が、半導体工場の“心臓部品”も握っていた」で扱っています。

宮城県富谷市の新工場はいつ稼働するのか

稼働開始の見通しは、発表のたびに更新されてきました。2022年6月の立地表明式の時点では「2025年4月予定」としていましたが、2024年12月の地鎮祭の時点では「2026年12月」に見通しが変わり、2026年9月1日の竣工式の時点では「2026年度中」としています。工場は地上2階建て、延床面積は約3万900平方メートル、敷地面積は約12.4ヘクタールです。

半導体そのものの基本的な仕組みは「半導体とは、電気を「通す・通さない」を切り替えられる物質——それだけの性質が世界を動かしている」で解説しています。

200人雇用・2026年度中稼働という計画は何を意味するか

従業員は、新規雇用を含めて200人規模だとNTKセラテックは説明しています。竣工式の報道によれば、2029年度までに生産能力を2025年度比2.5倍にする目標も示されています。投資額の具体的な金額は、今回確認できた公式情報の範囲では示されていません。

日本の装置産業全体の役割は「半導体は、日本の装置がなければ作れない」で扱っています。静電チャックのような部材メーカーの新規投資が積み重なることは、装置本体を支えるサプライチェーンの厚みを増すことにつながります。

この記事のまとめ

• NTKセラテック（仙台市、日本特殊陶業グループ）は、宮城県富谷市の半導体装置向けセラミック部品新工場の竣工式を2026年9月1日に行った。
• 主力製品は「静電チャック」で、半導体製造装置内でシリコンウエハーを固定する部品。
• 稼働開始時期は2022年6月時点「2025年4月予定」→2024年12月時点「2026年12月」→2026年9月時点「2026年度中」と段階的に見通しが更新されてきた。
• 従業員は新規雇用を含め200人規模で、2029年度までに生産能力を2025年度比2.5倍にする目標を掲げている。
• 投資額の具体的な数字は、今回確認できた公式情報の範囲では示されていない。