不良は、早く見つけるほど安い——チップ工場の「目」を握る検査・計測装置のKLA

これまでの記事で、露光・成膜・エッチングなど各工程の装置を見てきました。それらの工程の「あいだ」で、ちゃんと作れているかを確かめるのが検査・計測です。地味ですが、最も利益に直結する工程の一つです。各装置の位置づけを俯瞰したいときは「半導体まとめ・入門ロードマップ」を参照してください。

なぜ検査・計測が利益に直結するのか

理由は、歩留まり（良品率）が半導体の利益を直接決めるからです。下のシミュレーターで歩留まりを動かすと、良品の数が大きく変わるのが分かります。欠陥を早く見つけられれば、不良が大量に出る前に工程を直せます。

検査・計測は、欠陥検査（ゴミや傷を探す）、計測（線の幅やズレを測る）、レチクル検査（マスクの欠陥を調べる）などの総称で、各工程の後に行われます。最先端になるほど欠陥の影響が大きくなるため、検査の価値はいっそう高まります。

なぜKLAが圧倒的に強いのか

米KLAは、欠陥検査・計測・レチクル検査を幅広く手がけ、プロセスコントロール市場で約50〜60%とされる圧倒的なシェアを持ちます。歩留まりを守るという役割は代替が効きにくく、顧客との結びつきも強いため、高い利益率を維持しています。2024年6月期の売上は約98億ドルで、そのうち89%がプロセスコントロール事業でした（KLA）。

露光のASML、検査のKLAのように、半導体バリューチェーンでは「代替の効かない工程」に価値が集中します。この構造は「半導体産業はどう動くのか」で詳しく扱っています。

投資・市場の観点では何が重要か

検査・計測は歩留まり改善に直結するため、設備投資の中でも比較的底堅い分野です。さらに微細化が進むほど欠陥を見つける難易度が上がり、検査装置の価値は高まります。2024年の前工程装置市場は約1,010億ドルで過去最高でした（SEMI）。KLAを見るときは、プロセスコントロールの高いシェアと利益率、そして先端投資の動向が要点です。なお本記事は投資助言ではありません（SEMI）。