チップを“洗う”工程で世界一。京都の老舗が握る地味な急所

露光や成膜といった派手な工程の陰で、半導体作りを支えているのが「洗浄」です。チップは驚くほど何度も洗われます。その装置で世界一を握るのがSCREENです。半導体メーカーの全体像は「半導体メーカーは、6つの役割で見ると一気にわかる」で確認しつつ、この縁の下の主役を見ていきます。

SCREENとはどんな会社か

SCREENホールディングスとは、半導体製造装置を手がける京都発の日本企業です。1943年に創業しました。

意外なことに、その起源は印刷です。もとは印刷に使うガラススクリーン（網目状の版）の製造を手がけ、社名の「スクリーン」もそこに由来します（旧・大日本スクリーン製造）。印刷で培った精密なパターン形成や薬液処理の技術が、やがて半導体製造装置へと発展しました。なかでもウェハーの洗浄装置で、世界トップ級のシェアを握ります（SCREEN IR）。

なぜウェハーの洗浄が重要なのか

SCREENの価値を理解するには、半導体における洗浄の重要性を知る必要があります。半導体は、わずか一粒の微細なゴミ（パーティクル）が、回路の不良を引き起こします。

チップ作りは、成膜・露光・エッチングなどの工程を何百回も繰り返します。その一つ一つの合間に、毎回ウェハーを洗浄し、汚れや削りかす、異物を取り除きます。もし洗い残しがあれば、それが次の工程に持ち込まれ、欠陥として回路に刻まれてしまいます。

微細化が進むほど、許容できるゴミの大きさは小さくなり、洗浄の精度が歩留まり（良品率）を直接左右します。

枚葉式洗浄とは何か

SCREENの強みの中心が、枚葉式（まいようしき）洗浄です。枚葉式洗浄とは、ウェハーを1枚ずつ処理する洗浄方式です。

かつては、多数のウェハーをまとめて薬液に浸す「バッチ式」が主流でした。なぜなら、一度にたくさん洗えて効率的だからです。しかし微細化が進むと、まとめて洗うより、1枚ずつ条件を細かく制御して丁寧に洗う枚葉式の方が、精度を保ちやすくなりました。SCREENはこの枚葉式洗浄装置で世界トップ級のシェアを築いています。

洗浄は、使う薬液、流す順番、温度、時間など、装置メーカーごとに細かなノウハウが異なります。そのため、いったん顧客の製造ラインに採用されると、簡単には他社に乗り換えられません。これがSCREENの安定した地位の源泉です。

SCREENの強みと競争構造はどうか

SCREENの強みは、枚葉式ウェハー洗浄での高いシェアと、長年の技術蓄積にあります。洗浄に加え、塗布・現像を行うコータ・デベロッパや、熱処理装置も手がけ、複数の工程を押さえています。

競争相手は、洗浄装置も手がける「半導体装置で日本最大の東京エレクトロン」などです。総合力で広く攻める東京エレクトロンに対し、SCREENは洗浄という一点で深く強い、という棲み分けです。装置の世界では、こうした「工程ごとの専門企業」が役割を分け合っています。

AI向けの最先端チップは工程数が多く、洗浄の回数も増えます。さらに微細化が進むほど洗浄の難度と付加価値が上がるため、SCREENにとっては構造的な追い風です。一方でリスクは、半導体メーカーの設備投資サイクルに業績が左右されることと、最先端での顧客集中です。地味な工程ながら、最先端の歩留まりを支える急所として、その役割は静かに重みを増しています。

この記事のまとめ

• SCREENは京都発の半導体製造装置メーカーで、1943年創業。印刷用ガラススクリーンが起源。
• ウェハーを1枚ずつ洗う枚葉式洗浄装置で世界トップ級のシェアを握る。
• 半導体は一粒のゴミが致命傷になるため、工程の合間の洗浄が歩留まりを左右する。
• 微細化が進むほど許容できるゴミは小さくなり、洗浄の精度の重要性が増している。
• 競争相手は東京エレクトロンなど。AI向け最先端工程で洗浄需要が高まるのは追い風。